《中国科研突破:万通道激光直写光刻机,重塑芯片制造未来格局》
近日,一项来自浙江大学的科研成果在精密制造领域激起了波澜。该校极端光学技术与仪器全国重点实验室正式对外发布,成功研发出具备万通道并行加工能力的3D纳米激光直写光刻机。这一进展,不仅标志着中国在高端微纳加工装备领域取得了关键性突破,更为光子芯片、高端掩模版等前沿产业的制造工艺,提供了全新的解决方案。
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